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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明涉及一种基于PLC的单晶炉水冷系统，系统包括变频恒压供水系统、风机冷却水塔系统以及炉体冷却系统，主要应用于单晶炉的炉体及硅棒冷却。变频恒压供水系统，包括S7‑300PLC、压力传感器、MM430变频器以及水泵机组，实现了根据压力反馈值适时调节流量，自动化恒压供水；风机冷却水塔系统，包括水冷塔、风机组以及板热交换装置，能够结合环境温度，通过PLC调节风机组开启数量，增大水流表面空气流水以降低温度，相比于常用的冰机冷却成本更低；炉体冷却系统，分为主炉体冷却系统（上、下）与水冷套，前者用于
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112746311 A
(43)申请公布日
2021.05.04
(21)申请号 20191
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