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一种聚合物/氮化硅混合集成的可变光衰减器及其制备方法，属于光波导可变光衰减器技术领域。由硅衬底、二氧化硅下包层、芯层波导、聚合物上包层、金属调制电极组成；芯层波导由氮化硅输入直波导、氮化硅输入拉锥波导、聚合物芯层直波导、氮化硅输出拉锥波导和氮化硅输出直波导组成，氮化硅输入拉锥波导和氮化硅输出拉锥波导被包埋在聚合物芯层直波导之中。对金属调制电极施加电压时，光在经过温度发生变化的该有效区域时会产生相位差，自映像的位置发生变化，使得耦合进入氮化硅输出直波导的光强发生变化，从而构成聚合物/氮化硅混合集成
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115755272 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211498547.X
(22)申请日 2022.11.28
(71)申请人 吉林大学
地址 130012 吉林
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