一种基于密封双金属腔控制激光器晶体温度的洁净炉装置.pdfVIP

一种基于密封双金属腔控制激光器晶体温度的洁净炉装置.pdf

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本发明涉及一种基于密封双金属腔控制激光器晶体温度的洁净炉装置,包括依次共轴装配的膛前镜筒、炉膛和膛后镜筒;所述炉膛为金属制成的圆柱形,轴向具有L型通孔,所述晶体采用具有应变补偿弹簧的限位块压紧并固定在所述L型通孔中;所述膛前镜筒、膛后镜筒是中间有轴向通孔的金属圆筒,其一端为窗口镜端,用于安装窗口镜,另外一端具有第一法兰连接盘,称为炉膛端,用于与炉膛连接,并由炉膛密封圈密封,形成密封的内洁净腔。通过密封全金属内腔,达到无水、颗粒物等杂质引入,无氟化物等气体产生,通过密封金属外腔,使温度波动度符合要

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115747972 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211502346.2 (22)申请日 2022.11.28 (71)申请人 南京科耐激光技术有限公司 地址 2

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