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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供一种基板输送装置，是以直立多个基板的方式进行连续输送，所述装置包括一驱动装置、一输送轨道以及多个磁球。驱动装置包含一致动器以及经所述致动器带动旋转的至少一个第一螺杆与至少一个第二螺杆，其中每个第一螺杆的位置相对于每个第二螺杆的位置，使基板的输送路径位在第一与第二螺杆之间。输送轨道设有夹持基板用的多个夹具，且所述输送轨道往所述输送路径的方向移动。磁球则设置于每个第一螺杆内与每个第二螺杆内，以通过每个第一螺杆内的磁球对每个第二螺杆内的磁球之间的磁吸力或磁斥力稳定被直立输送的基板。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112744596 B
(45)授权公告日 2022.06.07
(21)申请号 201911054015.5 (56)对比文件
(22)申请日 2019.10.31
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