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- 2023-06-05 发布于四川
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一种用于加热衬底处理系统的部件的系统包含控制器和多个加热器，所述多个加热器被设置于沿流体流动路径的多个位置处，所述流体流动路径从流体源至所述衬底处理系统中的目的地。所述控制器被配置成：将所述多个加热器分组为多个加热器群组。每个加热器群组包含所述多个加热器中的至少一者。所述控制器还被配置成：确定待在所述多个加热器群组之间维持的温度梯度。所述控制器还被配置成：从所述多个加热器群组中选择加热器群组；并且控制供应至所选择的所述加热器群组的功率，以在所述多个加热器群组之间维持所述温度梯度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112753097 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 201980062821.9 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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