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超细气泡生成装置和元件基板制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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超细气泡生成装置和元件基板制造方法.pdf

    本发明提供超细气泡生成装置和元件基板制造方法。一种超细气泡生成装置，其在使用设置于基板的加热器的同时使液体进入膜沸腾而生成热超细气泡。该超细气泡生成装置包括控制单元，该控制单元向加热器输入能量，使得在输入到加热器的能量大于加热器生成膜沸腾的能量的条件下输入到加热器的能量相对于加热器生成膜沸腾的能量的比值低于1.17。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112742225 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011189480.2 (22)申请日 2020.10.30 (30)优先权数据 2019-1985

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