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密封门装置及光刻设备.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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密封门装置及光刻设备.pdf

    本发明公开了一种密封门装置及光刻设备，该密封门装置包括密封板和密封门，密封板上开设有物料传输口，密封门具有遮挡物料传输口的关闭状态和离开物料传输口的开启状态，该密封门装置还包括：气缸滑台、导轨和平行度误差消除组件，气缸滑台和导轨设置在物料传输口两侧，密封门一端与气缸滑台连接，另一端与导轨的滑块连接，平行度误差消除组件设置在密封门与气缸滑台和/或密封门与滑块之间。上述的密封门装置能够有效提高激光退火效率，有助于提高光刻设备产率。相应地，本发明还提一种光刻设备。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750694 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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