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本发明公开了一种涂层材料、制备方法及合金材料。本发明所述涂层材料由Ti层以及TiBx层组成的周期单元依次排列而成，其中，x为1‑2；所述Ti层的厚度为100‑500nm，TiBx层厚度为100‑500nm；所述TiBx涂层由三阴极离子渗镀方法制备而成；所述周期单元的排列周期为10‑50。本发明通过三阴极离子渗镀方法制备纳米层级Ti层以及TiBx层组成的连续多层膜，多层膜的设计和纳米层级薄膜的制备可以使涂层表面维持TiBx陶瓷层的高硬度、高耐磨性及抗高温氧化性能，有效降低涂层内应力，同时其韧性也得
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112725754 B
(45)授权公告日 2021.12.21
(21)申请号 202011475658.X C23C 14/16 (2006.01)
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