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解析装置、解析方法及解析程序.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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解析装置、解析方法及解析程序.pdf

    为了解析对受测器件进行测量而得的复数个测量值，并有效地利用解析得到的信息，提供一种解析装置，其具备：取得部，其取得复数个测量值，所述复数个测量值是经由治具对受测器件进行测量而得的；解析部，其解析复数个测量值并算出变动数据，所述变动数据表示与治具接触受测器件的接触次数对应的测量值的变动；以及，管理部，其基于变动数据来管理治具的状态。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112752978 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980062850.5 (74)专利代理机构 深圳新创友知识产权代理有

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