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一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法.pdf

    本发明涉及一种基于向量乱流法的化学蚀刻装置及方法，本发明通过增加导流板，控制蚀刻液在蚀刻区产生方向性向量乱流，包括涡流、空泡、动能层流和动能微流体；乱流最大的特性是具有流体扩散性和能量传导,在向量压力下可以深入微孔及细线路，解决现有技术中由于蚀刻深沟效应而无法蚀刻微孔和细线路中金属的问题，大幅度提升了蚀刻精度；本发明同时解决了水池效应和大面积线路板蚀刻不均的问题，因此增加良品率，降低了生产成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112739041 B (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202110354180.3 审查员 张文璐 (22)申请日 2021.04.01

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