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雾发生装置以及雾成膜方法和雾成膜装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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雾发生装置以及雾成膜方法和雾成膜装置.pdf

    一种雾发生装置，为了在被处理物(P)的表面堆积由材料物质构成的层，将包含含有材料物质的微粒或分子的溶液的雾(Mst)的载气(CGS)喷雾至被处理物(P)的表面。雾发生装置具备：雾发生部(14)，将溶液雾化，送出包含雾(Mst)的载气(CGS)；以及紫外线照射部(20B)，在直至来自雾发生部(14)的载气(CGS)被喷雾至被处理物(P)的表面为止的流路中，对通过载气(CGS)而悬浮的雾(Mst)照射波长400nm以下的紫外线光。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112752616 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980063513.8 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限

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