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压电薄膜元件.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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压电薄膜元件.pdf

    本发明提供一种压电薄膜元件，所述压电薄膜元件具备第一电极层和压电薄膜，第一电极层包含具有晶体结构的金属Me，压电薄膜包含具有纤锌矿型结构的氮化铝，氮化铝包含二价元素Md以及四价元素Mt，[Al]是氮化铝中的Al的含量，[Md]是氮化铝中的Md的含量，[Mt]是氮化铝中的Mt的含量，([Md]+[Mt])/([Al]+[Md]+[Mt])为36原子％以上且70原子％以下，LALN是平行于第一电极层的与压电薄膜相接的表面的方向上的氮化铝的晶格长度，LMETAL是上述方向上的Me的晶格长度，LALN比

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750941 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011162665.4 (22)申请日 2020.10.27 (30)优先权数据 2019-1966

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