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具有应力松弛层的半导体元件.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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具有应力松弛层的半导体元件.pdf

    本发明公开一种具有应力松弛层的半导体元件，该半导体元件包含一外延基板，外延基板包含一基底，一应力松弛层覆盖并接触基底，一III‑V族堆叠层覆盖并接触应力松弛层，其中III‑V族堆叠层包含氮化铝或氮化铝镓，或包含氮化铝和氮化铝镓两者，III‑V族堆叠层为多层外延结构。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750904 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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