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交联度可被调节的抛光垫及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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交联度可被调节的抛光垫及其制备方法.pdf

    本发明提供了一种交联度可被调节的抛光垫及其制备方法。根据一个实施方案的抛光垫包含多官能团的低分子量化合物作为构成抛光层的聚氨酯类树脂的聚合单元之一，从而在生产过程中减少了未反应的二异氰酸酯单体，从而提高了可加工性和质量，并增加交联度。因此，可以将抛光垫应用于包含CMP工艺的半导体器件的制备工艺中，以提供具有优良品质的半导体器件，例如晶圆。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112745472 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011179552.5 C08J 9/30 (2006.01)

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