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2023-06-05 发布于四川
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连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统.pdf

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本发明涉及一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统包括叉车式移载装置、及导向结构，叉车式移载装置包括：底座,在第一方向上具有相对的第一端和第二端，第一端具有导向部；竖直升降机构，安装于底座的第二端，左右调节组件，连接于竖直升降机构；承重货叉，连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动，第二方向垂直于第一方向及垂直竖直方向，承重货叉包括沿第一方向延伸的叉臂，叉臂的面对底座的一侧设有吊勾；及向结构，设置于镀膜工艺室的下方，用于与所述底座的导向部配合，以引导车式移载装置朝向镀膜工艺室移动并限定所叉车式移

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112707343 A (43)申请公布日 2021.04.27 (21)申请号 202011583814.4 B66F 9/075 (2006.01)

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