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延迟线型声表面波传感器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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延迟线型声表面波传感器及其制作方法.pdf

    本发明提供了一种延迟线型声表面波传感器及其制作方法，包括LTCC陶瓷衬底，衬底上方的压电陶瓷层，在LTCC陶瓷衬底下方的电极层，在压电陶瓷上设置一金电极的均匀结构的叉指换能器，以及三个沿声表面波传播方向设置的金电极的短路反射栅；均匀叉指换能器可以直接激励或接收声表面波，当输入电信号后，通过压电基片的逆压电效应，将电信号转化为机械信号，以声表面波的形式在压电基片上传播，并分别由第一反射栅、第二反射栅与第三反射栅所反射，再通过压电基片的压电效应，将机械信号转换为电信号，通过信号处理以评价时域响应的相

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112729595 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202110141329.X (22)申请日 2021.02.02 (71)申请人 上海航天电子有限公司

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