1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

等离子体处理系统与其边缘环组件.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.94万字
  • 约 18页
  • 2023-06-05 发布于四川
  • 举报

等离子体处理系统与其边缘环组件.pdf

    本发明提供一种用于处理晶圆的等离子体处理系统以及其制备方法。所述系统包括：静电吸盘；以及围绕所述静电吸盘的边缘环组件。所述边缘环组件包括：介电环，其具有顶表面，与所述顶表面相对的底表面以及从顶表面向上延伸的突起；和嵌设在所述介电环的突起中的线圈，所述线圈具有多个循环，所述多个循环中的每一者相对于所述介电环的所述底表面具有不同的距离。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112713076 A (43)申请公布日 2021.04.27 (21)申请号 20201

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >