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一种晶圆裂片用劈裂刀设备及其使用方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种晶圆裂片用劈裂刀设备及其使用方法.pdf

    本发明公开了晶圆裂片用劈裂刀设备技术领域的一种晶圆裂片用劈裂刀设备及其使用方法，包括裂片箱，所述裂片箱顶部固定连接有L型支架，所述L型支架底部固定连接有第一电动推杆；本发明通过设置第一清理装置、限位装置和第二清理装置等结构，利用可以向上移动的第一裂片板实现和第二裂片板的错位，进而实现将两者缝隙之间较为松动的晶圆碎片自动脱落的目的，同时利用第二磁铁和第一磁铁之间相斥的力，第一磁铁通过第二L型板带动清理板对第一裂片板和第二裂片板侧面上粘连较紧的晶圆碎片进行清理，上述清理下来的晶圆碎片将直接落到密封板

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112701066 B (45)授权公告日 2021.07.20 (21)申请号 202110016683.X (56)对比文件

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