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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明的基板处理装置(100)具备送液配管(41)、供给配管(43)、回流配管(44)、调整阀(47)、及控制部(3)。控制部(3)能够将调整阀(47)的开度切换为第1开度及第2开度中的任一开度。第1开度表示将由送液配管(41)引导的药液的全部或一部分供给至供给配管(43)的开度。第2开度表示将供给配管(43)内的药液的全部或一部分供给至回流配管(44)的开度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112753094 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 201980061928.1 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司
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