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外延片的制造方法、外延生长用硅系基板及外延片.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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外延片的制造方法、外延生长用硅系基板及外延片.pdf

    本发明提供一种外延片的制造方法，该制造方法具有：准备在外周部具有倒角部的硅系基板的工序；在所述硅系基板的所述倒角部，形成沿着所述倒角部的内周缘的圆环状的沟槽的工序；以及在形成有所述沟槽的所述硅系基板上进行外延生长的工序。由此，提供一种可抑制产生在外周倒角部的裂缝向中心部方向伸长的外延片的制造方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112753092 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980062141.7 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限

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