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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供了一种薄膜固化方法，所述方法包括：向腔体内通入氧源，用以对硅氮聚合物薄膜中的硅氮键进行替换；将水蒸气通入远程等离子源；所述远程等离子源将水蒸气解离为羟基自由基和氧自由基；将解离出的羟基自由基和氧自由基通入所述腔体；所述羟基自由基与氧自由基协助所述氧源对硅氮聚合物薄膜进行固化。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115747761 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211563399.5
(22)申请日 2022.12.07
(71)申请人 拓荆科技（上海）有限公司
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