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目标形成装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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目标形成装置.pdf

    一种用于极紫外光源的系统包括：毛细管，毛细管包括从第一端延伸到第二端的侧壁，侧壁包括外壁和内壁，内壁限定从第一端延伸到第二端的通道；被配置为定位在毛细管的外壁处的致动器；以及在外壁与致动器之间的粘合剂，粘合剂被配置为机械耦合致动器和毛细管，其中粘合剂占据由于固化而保持基本相同或膨胀的体积。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112753285 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980062516.X (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所

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