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GaN基板的切断方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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GaN基板的切断方法.pdf

    本发明提供一种GaN基板的切断方法，该GaN基板的切断方法通过使用在外周形成有槽部的刻划轮对GaN基板进行刻划，从而能够在GaN基板形成切断所需的刻划线，且能够在水平方向上不产生不需要的裂缝的情况下沿着该刻划线将GaN基板切断。本发明的GaN基板的切断方法使用在外周形成有槽部(5)的刻划轮(1)将GaN基板切断，该GaN基板的切断方法具有：刻划工序，在刻划工序中，使刻划轮(1)的刀尖(2)相对于GaN基板垂直接触，对刻划轮(1)施加载荷并使该刻划轮(1)滚动，从而形成刻划线(L)；断开工序，在断

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112752637 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980063202.1 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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