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用于自动化晶片载具搬运的系统及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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用于自动化晶片载具搬运的系统及方法.pdf

    提供一种用于自动化晶片载具搬运的系统及操作方法。所述系统包括：包括彼此分离的待机位置及储存位置的储存架、第一移动机构及第二移动机构、以及可操作地耦合到第一移动机构及第二移动机构以控制第一移动机构及第二移动机构的操作的控制器。储存位置用于缓冲等待传送到装载端口的晶片载具。第一移动机构以可移动方式耦合到储存架，并提供至少一个移动自由度以将晶片载具从储存位置传送到待机位置。第二移动机构设置在储存架之上，将储存架可操作地耦合到装载端口，并提供至少一个移动自由度以将晶片载具从待机位置传送到装载端口。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750739 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20201

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