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调制器装置及其形成方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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调制器装置及其形成方法.pdf

    本公开的各种实施例涉及一种包括第一波导及加热器结构的调制器装置。输入端子被配置成接收入射光。所述第一波导具有第一输出区及耦合到所述输入端子的第一输入区。第二波导光学耦合到所述第一波导。所述第二波导具有第二输出区及耦合到所述输入端子的第二输入区。输出端子被配置成提供基于所述入射光而调制的出射光。所述输出端子耦合到所述第一输出区及所述第二输出区。所述加热器结构上覆在所述第一波导上。所述加热器结构的底表面与所述第一波导的底表面对齐。所述第一波导横向间隔在所述加热器结构的多个侧壁之间。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112748588 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20201

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