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衬底处理装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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衬底处理装置.pdf

    本发明提供一种能够容易地确认是否按用户需要的规格构成的衬底处理装置。判别部(89)将来自相机(77)的机器信息与来自臂控制部(97)的检测位置信息进行比较，判别机器信息的位置信息与检测位置信息是否一致，以及将来自相机(77)的机器信息与用户规格信息存储部(87)的用户规格信息进行比较，判别机器信息与用户规格信息是否一致。当判别结果不一致时，报知部(91)发出警报。因此，能够根据报知部(91)有无发出警报来确认构成的正误，所以能够容易地确认是否按用户的规格构成。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750722 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011123927.6 (22)申请日 2020.10.20 (30)优先权数据 2019-1989

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