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清洗模块、切割装置以及切割品的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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清洗模块、切割装置以及切割品的制造方法.pdf

    本发明提供一种清洗模块、切割装置以及切割品的制造方法，即使在切割品的尺寸小的情况下也能够提高清洗效率。包括：容器(21)，收纳封装基板被切割而形成的多个切割品(Sa)；旋转机构(22)，使容器(21)旋转；供液机构(23)，向容器(21)内供给清洗液；以及排液机构(24)，排出容器(21)内的清洗液，多个切割品(Sa)在浸渍于清洗液的状态下，在通过旋转机构(22)旋转的容器(21)内被清洗。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750723 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011137537.4 H01L 21/78 (2006.01) (22)申请日 2

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