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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明公开了PFA光刻胶再生剥离液及其制备方法与应用，所述PFA光刻胶再生剥离液，包括以下重量百分比组分：酯基氢氧化物7‑20％，含氧基胺5‑12％，水溶性有机溶剂60‑75％，非离子表面活性剂0.5‑2％，缓蚀剂0.1‑1.5％，余量为去离子水。本发明所述PFA光刻胶再生剥离液不仅能够控制碱度变化，且能够大大延长铜出现腐蚀的时间；在保持应有的剥离效率和质量的同时，不会对基板需要保留的Cu/Al及PV层造成腐蚀。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112764330 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110023001.8 审查员 单英敏
(22)申请日 2021.01.08
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