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MEMS传感器.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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MEMS传感器.pdf

    本发明提供了一种MEMS传感器，包括：基板与盖板；基板包括MEMS结构，围绕MEMS结构设置的第一内焊接环、以及围绕第一内焊接环设置的第一外焊接环；盖板包括第二内焊接环，与围绕第二内焊接环设置的第二外焊接环；基板与盖板通过第一内焊接环与第二内焊接环焊接在一起形成第一密封结构，第一密封结构将MEMS结构限定在真空腔体内；基板与盖板通过第一外焊接环与第二外焊接环焊接在一起形成第二密封结构，第二密封结构与第一密封结构之间形成真空夹层腔体。根据本发明的实施例，可极大降低气体的漏率，提高MEMS传感器的可

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112758884 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110083903.0 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人 杭州海康微影传感科技有限公司

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