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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明涉及一种双螺旋状平面波导磁场传感器及其制作方法，属于平面光波导领域。本发明采用双光子飞秒激光直写技术，根据材料折射率和盘状波导结构的几何形状，建立3D打印模型，双螺旋状平面波导结构的横截面为矩形，在玻璃基底上先打印第一种材料为作为矩形横截面中的右侧矩形，其中与玻璃基底接触部分的长度为高度的一半，打印完毕后清洗多余部分材料，再次利用双光子激光直写装置打印第二种材料为矩形截面的左侧矩形，打印完毕后清洗多余部分材料。本发明所提出的双螺旋状平面波导磁场传感器及其制作方法与现有的磁场传感器相比，具有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112763945 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202011520064.6 G02B 6/125 (2006.01)
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