原创力文档- 1
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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明公开了一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；第二磁性部件为对第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；当第一磁性部件受第二磁性部件的磁场力变化时，第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动样品承载台移动，以驱动样品承载台上的样品移动到设定位置。本申请所提供的真空环境中的样品转运的装置，不需要将驱动电机、轴承等驱动设备封装
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112758696 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110069780.5
(22)申请日 2021.01.19
(71)申请人 埃特曼（深圳）半导体技术有限公司
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