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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供一种具有制冷剂用的流路的部件，其包括：形成有上述流路的基座；和设置在上述流路内的能够升降可能或旋转的突起状部件。由此，不进行设计变更，就能够进行用于实现基片温度的均匀性的修正。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768336 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110174995.3 H01L 21/687 (2006.01)
(22)申请日
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