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本发明提供了一种硅管清洗装置和清洗方法，硅管清洗装置包括集液槽，集液槽的底面设有下液口；过滤器，过滤器设置在集液槽的下方并与下液口连通；输液泵，输液泵设置在集液槽的下方，输液泵的进口与过滤器连通；进液管，进液管的进口端与输液泵的出口连通，进液管的出口端位于集液槽的上方且开口朝上；回液管，回液管的进口端位于进液管的出口端的上方且开口朝下，回液管的出口端位于集液槽内且开口朝下；支杆，支杆的底部与集液槽的侧壁连接，支杆上安装两个固定夹，固定夹用于夹持固定硅管。本发明设计了一种专用于硅管的清洗装置，采用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115739862 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211252135.8
(22)申请日 2022.10.13
(71)申请人 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
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