原创力文档- 14
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- 2023-06-06 发布于四川
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一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法，该偏振分光镜由基板及基板两面的偏振膜和增透膜三部分构成，其中偏振膜的膜系结构包括膜层应力调节层和偏振分光膜层；初始结构为：Air/(aHbL)nM/Sub/HL/Air。本发明在非布儒斯特角度下实现深紫外波段高透过率和高消光比的同时，解决了氟化物多层薄膜张应力大导致的膜层龟裂难题，适用于ArF0F级熔石英或紫外CaF2基板，可实现入射角为65±1°，波长为180nm‑220nm范围内的某一波长处p光透过率大于91％，消光比大于60:1，对于深紫外光学系统中
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112764149 B
(45)授权公告日 2021.11.30
(21)申请号 202110021643.4 (51)Int.Cl.
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