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支撑治具及清洗设备.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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支撑治具及清洗设备.pdf

    本发明公开了一种支撑治具及清洗设备。支撑治具用于光罩清洗时承载光罩，支撑治具包括载具本体，载具本体具有相对的上表面和下表面，载具本体的中部设有：第一通槽，第一通槽用于容纳光罩，且收容于第一通槽内的光罩的上表面高于载具本体的上表面；多个第二通槽，环绕设于第一通槽的外侧，至少部分第二通槽的截面积从上表面往下表面的方向逐渐增大；支撑部，用于支撑光罩，设于第一通槽的槽壁上并延伸至第一通槽内。本发明的支撑治具能够提升光罩的清洗效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112764311 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110084194.8 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人 深圳市路维光电股份有限公司

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