原创力文档- 5
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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明公开了一种EBCMOS分辨力参数的测量装置，其包括光学平台、光源系统、分辨力靶、物镜、测量暗箱、气体置换装置、TEC温控系统和图像采集及分析系统。本发明的结构设计巧妙、合理，能实现光源照度可变以及被测器件工作温度可变，利用TEC温控台单独只对被测器件控温实现快速变温提高测试效率，而且设有气体置换装置，能快速排出测量暗箱内空气从而降低水汽含量，有效解决了降温情况潜在的水汽冷凝、结霜影响测试结果问题，实现对EBCMOS器件分辨力进行准确而且完整性评价测试，精确反映出EBCMOS器件分辨力在全工
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112763189 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011544510.7
(22)申请日 2020.12.24
(71)申请人 松山湖材料实验室
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