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工艺工具和检测方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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工艺工具和检测方法.pdf

    一种用于处理生产衬底的工艺工具，该工艺工具包括：可移动台(60)，所述可移动台被配置成在X‑Y平面中执行长冲程移动；待检测的部件(12)；成像装置(103)，所述成像装置安装到所述工艺工具的固定部分并具有基本上平行于X‑Y平面的光学轴线；以及反射镜(101a‑101c)，所述反射镜安装在可移动台上并以相对于X‑Y平面的预定的倾斜角定向，使得通过将可移动台移动至预定位置，所述待检测的部件的一部分能够由成像装置成像。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805623 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980062418.6 G ·L ·加托比焦　 (22)申请日 2019.

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