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真空系统抽气时间的计算
真空系统的抽气方程
真空系统的任务就是抽除被抽容器中的各种气体。我们可以把被抽容器中所产生的各种气体的流量称为真空系统的气体负荷。那么真空系统的气体负荷到底来自哪些方面呢?或者说真空室内到底有哪些气源呢?总起来说，可以归纳为下述几个方面：
被抽容器内原有的空间大气，假设容器的容积为Vm3，抽气初始压强为 P Pa，则容器
o
内原有的大气量为VP Pa·m3；
0
被抽容器内一旦被抽空，暴露于真空下的各种材料构件的外表就将把原来在大气压 下所吸取和吸附的气体解析出来，这局部气体来源我们称之为放气，单位时间内的放气流量
可以用Q Pa·m3／s 来示；
f
试验说明，材
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