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一种晶圆自动纠偏方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种晶圆自动纠偏方法.pdf

    本发明属于真空机器手运输晶圆过程中自动校正手指上晶圆位置的控制技术，具体涉及一种晶圆自动纠偏(AWC)方法，主要包含AWC方法的实现方式以及AWC算法。本发明包括以下步骤：AWC数据采集：采集晶圆通过激光传感器时，激光传感器所记录的坐标；AWC标定：通过机器手手指中心坐标以及晶圆半径，计算得到激光传感器在机器手基坐标下的坐标，用于以此坐标为基准进行自动纠偏功能；AWC偏差计算：通过激光传感器在机器手基坐标下的坐标、手指中心在机器手基坐标下的坐标、晶圆中心的坐标以及触发点相对于机器手基坐标原点的夹

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786475 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 20191

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