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一种四（二甲氨基）铪的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种四（二甲氨基）铪的制备方法.pdf

    本发明化工领域，具体关于一种四（二甲氨基）铪的制备方法；本发明是在有机溶剂中用二甲基胺和四氯化铪在正丁基锂提供的碱性环境下，由一种冠醚基双金属化物催化发生脱酸反应，合成了四（二甲氨基）铪，本发明制备方法简单，原材料利用率高，反应时间短，产物收率高，纯度高，能够满足铜屏蔽应用中氮化铪膜形成以及HKMG电极制成中对四（二甲氨基）铪化合物的使用需求。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112759606 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011594417.7 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 浙江博瑞电子科技有限公司

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