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一种氧化硅钝化PERC双面电池及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种氧化硅钝化PERC双面电池及其制备方法.pdf

    本发明公开一种氧化硅钝化PERC双面电池及其制备方法。包括硅衬底、设置在硅衬底正面的正面介电层、依次设置在背面的第一介电层和第二介电层；正面介电层包括二氧化硅层和氮化硅层；第一介电层为氧化硅层或氮氧化硅层；第二介电层包括至少一层氮化硅层；第一介电层厚10‑100nm；第二介电层厚60‑180nm。制备：S1硅衬底表面预清洗及制绒；S2磷扩散制备P‑N结；S3硅衬底边缘刻蚀及背面抛光；S4正面介电层中二氧化硅层制备；S5正面介电层中氮化硅层制备；S6背面第一介电层制备；S7背面第二介电层制备；S8

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768534 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011628235.7 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 江苏润阳世纪光伏科技有限公司

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