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用于ARC镀膜生产线的基片架.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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用于ARC镀膜生产线的基片架.pdf

    本发明提供了用于ARC镀膜生产线的基片架，用于装载待镀膜的基片，所述基片架在镀膜生产线上运行，包括基片架本体、框架组件和盖板组件，框架组件连接基片架本体的各侧边，基片架本体上设有基片区，基片区包括彼此独立的第一基片区、第二基片区和第三基片区，盖板组件包括第一盖板、第二盖板和第三盖板，第一盖板、第二盖板和第三盖板分别可拆卸的盖合在第一基片区、第二基片区和第三基片区上。本发明所述基片架可装载多种和多个基片，基片架分为多个基片区域，每个基片区域对应配有相应盖板，所述盖板可拆卸的覆盖在对应的基片区域，以

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112795888 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201911106235.8 (22)申请日 2019.11.13 (71)申请人 湘潭宏大真空技术股份有限公司

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