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用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器.pdf

    本公开涉及用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器。一种微机电系统(MEMS)镜组件包括限定腔的基底基板和从腔的底部向上延伸的多个第一特征。MEMS镜组件包括耦接到基底基板并限定MEMS致动器和MEMS镜平台的镜基板。MEMS致动器的致动将MEMS镜平台从第一位置状态移动到第二位置状态。MEMS镜平台在MEMS镜平台的面向基底基板的一侧上限定多个第二特征，所述多个第二特征的尺寸、形状和位置使得当镜平台处于第二位置状态时，多个第二特征延伸到分隔多个第一特征的空间中。MEMS镜组件包括设置在MEMS

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115728935 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202211505989.2 (22)申请日 2018.03.29 (30)优先权数据

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