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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明提供一种在用作显影液或冲洗液时，能够形成图案间隔的偏差得到抑制的抗蚀剂图案的药液、药液容纳体、抗蚀剂图案形成方法及半导体芯片的制造方法。本发明的药液含有乙酸正丁酯及乙酸异丁酯，所述药液中，相对于药液总质量，乙酸正丁酯的含量为99.000～99.999质量％，相对于药液总质量，乙酸异丁酯的含量为1.0～1000质量ppm。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112805628 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 201980064889.0 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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