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一种硅棒拼接方法、拼接硅棒及拼接硅棒的切割方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种硅棒拼接方法、拼接硅棒及拼接硅棒的切割方法.pdf

    本发明提供了一种硅棒拼接方法、拼接硅棒及拼接硅棒的切割方法。所述硅棒拼接方法包括如下步骤：将硅棒胶粘剂和填充剂混合，然后涂布在硅棒待拼接的面上，拼接，固化后，完成硅棒拼接；所述填充剂选自硅粉、铁粉或碳粉中的一种或至少两种的组合。所述切割方法为：将所述硅棒拼接方法制备得到的拼接硅棒上机，使用金刚线进行全线网切割。本发明提供的硅棒拼接方法制备得到的拼接硅棒可以采用金刚线进行全线网切割加工，能够减少硅棒拼接处的胶层对金刚线的粘附，降低断线风险，提高硅片的良品率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112793021 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 20191

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