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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明公开了一种带温度维持装置的隔离环，设置于等离子体处理装置内，等离子体处理装置包括由多个壁围成的反应腔，反应腔的上部设置有用于引入气体至反应腔内的气体喷淋头，反应腔的下部设置有用于承载基片的基座，气体喷淋头与基座之间形成有对基片进行处理的等离子体，隔离环环绕于气体喷淋头并限制等离子体于隔离环所设有的壁体内，隔离环包括靠近等离子体的内隔离环及环绕内隔离环的外隔离环，内隔离环与外隔离环之间设置有温度维持装置，用于保持内隔离环温度以防止聚合物沉积于内隔离环表面，此带温度维持装置的隔离环可持续保持高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112802729 A
(43)申请公布日
2021.05.14
(21)申请号 20191
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