一种极低残余反射的窄带减反射膜.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.83万字
约 18页
2023-06-06 发布于四川
举报

一种极低残余反射的窄带减反射膜.pdf

本发明公开了一种极低残余反射的窄带减反射膜，包括基底以及设置在基底上的多层膜。多层膜由依次设置在基底上的导纳匹配膜堆、色散补偿膜和增透膜构成。基底为折射率1.45至1.90的光学玻璃或光学塑料。导纳匹配膜堆层数为7～11层，由Al2O3和TiO2膜交替组成，最后一层为SiO2膜。色散补偿膜亦为SiO2单层膜。增透膜依次由TiO2和MgF2双层膜组成，或对抗静电防尘增透膜依次由TiO2、ITO透明导电膜和MgF2膜组成。ITO透明导电膜为铟锡氧化物膜。多层膜系的极低残余反射的波长域为650～662

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112764135 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110002969.2 (22)申请日 2021.01.04 (71)申请人杭州科汀光学技术有限公司

您可能关注的文档

文档评论（0）

1亿VIP精品文档

更多 >

一种极低残余反射的窄带减反射膜.pdfVIP

一种极低残余反射的窄带减反射膜.pdf

您可能关注的文档

最近下载

文档评论（0）

1亿VIP精品文档

相关文档