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一种转台误差测量装置及补偿方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种转台误差测量装置及补偿方法.pdf

    本发明提供一种转台误差测量装置，包括：自准直仪、多齿分度台；多齿分度台用于标定待测量转台的实际旋转角度；自准直仪测量待测量转台的垂直度误差。一种转台误差补偿方法：S1、进行调零；调节待补偿转台，使其圆光栅的读数为0°，记录此时多齿分度台的0°对应位置为角度标定位置，调节自准直仪，使其出射光与镜面反射的反射光重合；S2、转动待补偿转台，使圆光栅的读数增加1°，记录在角度标定位置读取的多齿分度台的角度，并记录自准直仪测量的垂直方向倾斜角；S3、重复S2，直至圆光栅的读数为360°，根据记录的数据制作

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112747694 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011627406.4 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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