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一种晶圆清洗设备中的定位设备.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种晶圆清洗设备中的定位设备.pdf

    本发明公开了一种晶圆清洗设备中的定位设备，其结构包括支撑箱、控制面板、主体、警报灯，支撑箱的顶部前端设有控制面板，主体安装在支撑箱的顶端，警报灯嵌固在主体的顶部后端，主体包括清洗槽、清洗装置、进水口、机械臂、照明灯，清洗装置包括蓄水框、排屑口、旋转装置、旋转柱，旋转装置包括蓄水池、外流孔、支撑块、定位装置，支撑块包括固定座、通料槽、橡胶垫、空槽，本发明利用旋转装置与蓄水框活动卡合，让旋转装置跟随旋转柱进行旋转，使得晶圆中腐蚀脱落的碎屑能够跟随旋转所产生的水流往排屑口的外端进行流动，避免碎屑对晶圆

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768379 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110017019.7 (22)申请日 2021.01.07 (71)申请人 曹礼枝 地址 750

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