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一种角度可调的高精度载物台装置.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种角度可调的高精度载物台装置.pdf

    本发明涉及的一种角度可调的高精度载物台装置，在本发明的一种角度可调的高精度载物台装置中，底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承，通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度，从而使得载物台的位姿得以调节，由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦，所以摩擦力小，不会发生窜动，使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见，本发明的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿，结构简单，运动平稳顺畅。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112782839 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202110201102.X (22)申请日 2021.02.23 (71)申请人 上海市计量测试技术研究院

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